
1.可用来对各种样式规格尺寸的基片实现喷胶.最大的喷胶规格尺寸标准达到8寸。
2.可对各种粘度的胶实现喷涂,供胶分辨率在15uL以内。
3.可对大深宽比构造实现侧壁涂胶,获得厚度均匀的胶膜。
4.喷胶均匀性标准:单片表面层≤±15%,片间为≤±10%。
5.计算机系统控制技术主要参数。
6.可手动操作卸载掉基片。
7.喷胶室容易清洗。
8.供胶流动速度和流量可编程。
9.供胶回吸量可调整。
10.适合用在所有光刻胶和聚合物。
11.具备全自动针管式胶液供给系统,可调整压力控制及精确测量胶量,并具备胶液回吸基本功能。
12.基片可对准。